工作原理
應(yīng)用范圍
產(chǎn)品特點(diǎn)
技術(shù)參數(shù)表
SF系列電子束蒸發(fā)光學(xué)真空鍍膜機(jī) | |||||||
型號(hào) | SF-800 | SF-1200 | SF-1400 | SF-1600 | SFW-1000 | SFW-1200 | SFW-1600 |
真空室尺寸 | Φ800×1000MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1600×1800MM | Φ1000×1100MM | Φ1200×1400MM | Φ1600×1800MM |
真空機(jī)組 | KT500擴(kuò)散泵機(jī)組 | KT630擴(kuò)散泵機(jī)組 | 雙KT630擴(kuò)散泵機(jī)組 | 雙KT630擴(kuò)散泵機(jī)組 | KT500擴(kuò)散泵機(jī)組 | KT630擴(kuò)散泵機(jī)組 | 雙KT630擴(kuò)散泵機(jī)組 |
鍍膜系統(tǒng) | 電子槍蒸發(fā)源、鍍膜輔助離子專用電源或霍爾離子源 | ||||||
充氣系統(tǒng) | 壓強(qiáng)控制儀 | ||||||
控制方式 | 手動(dòng)或半自動(dòng) | ||||||
膜厚監(jiān)控系統(tǒng) | 石英晶體膜厚監(jiān)控系統(tǒng) | ||||||
抽氣速率 | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min |
極限真空 | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa |
備注 | 以上設(shè)備參數(shù)僅做參考,具體均按客戶實(shí)際工藝要求設(shè)計(jì)訂做 |