工作原理
應(yīng)用范圍
產(chǎn)品特點(diǎn)
技術(shù)參數(shù)表
ZFW系列臥式電阻蒸發(fā)真空鍍膜機(jī) | |||||||
型號(hào) | ZFW-600 | ZFW-1400 | ZFW-1600 | ZFW-1800 | ZFW-2000 | ZFW-4000 | ZFW-5000 |
真空室尺寸 | Φ600×800MM | Φ1400×1600MM | Φ1600×1800MM | Φ1800×2000MM | Φ2000×3000MM | Φ4000×8000MM | Φ5000×10000MM |
真空機(jī)組 | KT500擴(kuò)散泵機(jī)組 | 雙KT6300擴(kuò)散泵機(jī)組 | 雙KT630擴(kuò)散泵機(jī)組 | 雙KT800擴(kuò)散泵機(jī)組 | 雙KT1000擴(kuò)散泵機(jī)組 | 雙KT1000擴(kuò)散泵機(jī)組*2套 | 雙KT1000擴(kuò)散泵機(jī)組*4套 |
鍍膜系統(tǒng) | 電阻蒸發(fā)源、鍍膜輔助離子專(zhuān)用電源 | ||||||
充氣系統(tǒng) | 質(zhì)量流量計(jì) | ||||||
控制方式 | 手動(dòng)或全自動(dòng) | ||||||
抽氣速率 | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min |
極限真空 | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa |
備注 | 以上設(shè)備參數(shù)僅做參考,具體均按客戶(hù)實(shí)際工藝要求設(shè)計(jì)訂做,可選擇保護(hù)膜鍍膜功能 |