當(dāng)前位置:首頁|HL系列多弧離子真空鍍膜機
工作原理
應(yīng)用范圍
產(chǎn)品特點
技術(shù)參數(shù)表
HL系列多弧離子真空鍍膜機 | |||||||
型號 | HL-600 | HL-800 | HL-1000 | HL-1200 | HL-1400 | HL-1500 | HL-1600 |
真空室尺寸 | Φ600×800MM | Φ800×1000MM | Φ1000×1200MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1500×1500MM | Φ1600×1800MM |
真空機組 | KT400擴散泵機組 | KT500擴散泵機組 | KT500擴散泵機組 | KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 |
鍍膜系統(tǒng) | 專用多弧鍍膜電源+多功能孿生磁環(huán)弧靶+柱形弧靶(可選配) | ||||||
輔助鍍膜系統(tǒng) | 低溫離子輔助源(除工具鍍外無需加溫系統(tǒng)) | ||||||
充氣系統(tǒng) | 質(zhì)量流量計 | 質(zhì)量流量計 | 質(zhì)量流量計 | 質(zhì)量流量計 | 質(zhì)量流量計 | 質(zhì)量流量計 | 質(zhì)量流量計 |
控制方式 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 |
抽氣速率 | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min |
極限真空 | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa |
備注 | 以上設(shè)備參數(shù)僅做參考,具體均按客戶實際工藝要求設(shè)計訂做 |