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CJ系列磁控濺射真空鍍膜機(jī)

日期:2016-01-16 13:28:37 人氣:68749

CJ系列磁控濺射真空鍍膜機(jī)

工作原理

CJ系列磁控濺射真空鍍膜機(jī)的磁控濺射工作原理,所謂“濺射”就是用荷能粒子(通常用氣體正離子)轟擊物體,從而引起物體表面原子從母體中逸出的現(xiàn)象。早在1842年Grove在實(shí)驗(yàn)室中就發(fā)現(xiàn)了這種現(xiàn)象。磁控濺射靶采用靜止電磁場(chǎng),磁場(chǎng)為曲線形,均勻電場(chǎng)和對(duì)數(shù)電場(chǎng)則分別用于平面靶和同軸圓柱靶。電子在電場(chǎng)作用下,加速飛向基片的過(guò)程中與氬原子發(fā)生碰撞。若電子具有足夠的能量(約為30ev)時(shí),則電離出Ar+并產(chǎn)生電子,電子飛向基片,Ar+在電場(chǎng)作用下,加速飛向陰極(濺射靶)并以高能量轟擊靶表面,使靶材發(fā)生濺射。 

應(yīng)用范圍

廣泛應(yīng)用于家電電器、鐘表、高爾夫球頭、工藝美術(shù)品、玩具、車(chē)燈反光罩、手機(jī)按鍵外殼以及儀器儀表、塑料、玻璃、陶瓷、磁磚等表面裝飾性鍍膜及工模具的功能涂層,在鍍制超黑膜、純金裝飾膜、導(dǎo)電膜等領(lǐng)域有優(yōu)勢(shì)。

產(chǎn)品特點(diǎn)

1)、膜厚可控性和重復(fù)性好。能夠可靠的鍍制預(yù)定厚度的薄膜,并且濺射鍍膜可以在較大的表面上獲得厚度均勻的膜層;
2)、薄膜與基片的附著力強(qiáng)。部分高能量的濺射原子產(chǎn)生不同程度的注入現(xiàn)象,在基片上形成一層濺射原子與基片原子相互溶合的偽擴(kuò)散層;
3)、制備特殊材料的薄膜,可以使用不同的材料同時(shí)濺射制備混合膜、化合膜,還可濺射成TiN仿金膜;
4)、膜層純度高,濺射膜層中不會(huì)混入坩鍋加熱器材料的成份。
5 )、裝備低溫離子輔助源,無(wú)需加熱直接常溫冷鍍成膜,節(jié)能省電,提高產(chǎn)能。

技術(shù)參數(shù)表

CJ系列磁控濺射真空鍍膜機(jī)     
型號(hào)CJ-600CJ-800CJ-1000CJ-1200CJ-1400CJ-1500CJ-1600
真空室尺寸 Φ600×800MMΦ800×1000MMΦ1000×1200MMΦ1200×1400MMΦ1400×1600MMΦ1500×1500MMΦ1600×1800MM
真空機(jī)組KT400擴(kuò)散泵機(jī)組KT500擴(kuò)散泵機(jī)組KT800擴(kuò)散泵機(jī)組KT630擴(kuò)散泵機(jī)組雙KT630擴(kuò)散泵機(jī)組雙KT630擴(kuò)散泵機(jī)組雙KT630擴(kuò)散泵機(jī)組
鍍膜系統(tǒng)直流或中頻電源、鍍膜輔助離子專用電源
充氣系統(tǒng)質(zhì)量流量計(jì)質(zhì)量流量計(jì)質(zhì)量流量計(jì)質(zhì)量流量計(jì)質(zhì)量流量計(jì)質(zhì)量流量計(jì)質(zhì)量流量計(jì)
控制方式手動(dòng)或全自動(dòng)手動(dòng)或全自動(dòng)手動(dòng)或全自動(dòng)手動(dòng)或全自動(dòng)手動(dòng)或全自動(dòng)手動(dòng)或全自動(dòng)手動(dòng)或全自動(dòng)
極限真空5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa
備注以上設(shè)備參數(shù)僅做參考,具體均按客戶實(shí)際工藝要求設(shè)計(jì)訂做
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