當(dāng)前位置:首頁(yè)|CJ系列磁控濺射真空鍍膜機(jī)
工作原理
應(yīng)用范圍
產(chǎn)品特點(diǎn)
技術(shù)參數(shù)表
CJ系列磁控濺射真空鍍膜機(jī) | |||||||
型號(hào) | CJ-600 | CJ-800 | CJ-1000 | CJ-1200 | CJ-1400 | CJ-1500 | CJ-1600 |
真空室尺寸 | Φ600×800MM | Φ800×1000MM | Φ1000×1200MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1500×1500MM | Φ1600×1800MM |
真空機(jī)組 | KT400擴(kuò)散泵機(jī)組 | KT500擴(kuò)散泵機(jī)組 | KT800擴(kuò)散泵機(jī)組 | KT630擴(kuò)散泵機(jī)組 | 雙KT630擴(kuò)散泵機(jī)組 | 雙KT630擴(kuò)散泵機(jī)組 | 雙KT630擴(kuò)散泵機(jī)組 |
鍍膜系統(tǒng) | 直流或中頻電源、鍍膜輔助離子專用電源 | ||||||
充氣系統(tǒng) | 質(zhì)量流量計(jì) | 質(zhì)量流量計(jì) | 質(zhì)量流量計(jì) | 質(zhì)量流量計(jì) | 質(zhì)量流量計(jì) | 質(zhì)量流量計(jì) | 質(zhì)量流量計(jì) |
控制方式 | 手動(dòng)或全自動(dòng) | 手動(dòng)或全自動(dòng) | 手動(dòng)或全自動(dòng) | 手動(dòng)或全自動(dòng) | 手動(dòng)或全自動(dòng) | 手動(dòng)或全自動(dòng) | 手動(dòng)或全自動(dòng) |
極限真空 | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa |
備注 | 以上設(shè)備參數(shù)僅做參考,具體均按客戶實(shí)際工藝要求設(shè)計(jì)訂做 |