真空鍍膜涂層膜厚測量方式?
作者: 來源: 日期:2021-07-14 12:19:06 人氣:1291
我們?nèi)粘I钪?,很多生活物品都?jīng)過鍍膜機(jī)鍍上了一層膜層,讓產(chǎn)品不僅變得更美觀,也更實(shí)用。但是很多人會(huì)有一個(gè)疑問,那既然是鍍了一層膜層,薄膜肯定是有厚度大小的,那么薄膜厚度具體多厚呢,以及怎么去測量?
薄膜必須沉積在基底之上, 所以離開了基片也就無從談薄膜沉積的問題?;那逑春脡挠謱Ρ∧さ馁|(zhì)最有極共重要的影響。同時(shí)在薄膜的制作中還必須知道薄膜的厚度,脫離了薄膜的厚度來談薄膜性質(zhì)的測最也是亳無意義的。 所以, 膜厚的測量和基片的清洗可以說是和薄膜制作相關(guān)的重要技術(shù)。一般所謂的厚度是指兩個(gè)完全平整的平行平面之間的距離,這個(gè)概念是一個(gè)幾何概念。
理想的薄膜厚度是指基片表面和薄膜表面之間的距離。在薄膜形貌的三維度量中,相對于薄膜的厚度來講,其他兩維的度量可以說是無窮大。由于實(shí)際上存在的表面是不平整和不連續(xù)的,而且薄膜的內(nèi)部還可能存在著氣孔、雜質(zhì)、晶格缺陷和表面吸附分子等等,所有要嚴(yán)格地定義和精確地測量薄膜的厚度實(shí)際上是很困難的。
膜厚的定義位當(dāng)根據(jù)測址的方法和測址的目的決定。 因此,同一個(gè)薄膜,使用不同的測量方法會(huì)得到不同的結(jié)果, 即不同的厚度。
在薄膜油測量中的表面并不是一個(gè)幾何的概念,而是一個(gè) 物埋概念,是指表面分子(原子)的集合。 平均表面是指表面原子所有的點(diǎn)到這個(gè)面的距離代數(shù)和等于零, 平均表面是一個(gè)兒何概念。
我們通常將基片的一側(cè)的表面分子的集合的平均表面稱為基片表面;薄膜上不和基片接觸的那一側(cè)的表面的平均表面稱為薄膜的形狀表面,將所測量的薄膜原子重新排列,使其密度和大塊狀固體材料完全一樣且均勻的分布在基片表面上,這時(shí)平均表面稱為薄膜質(zhì)量等價(jià)表面;根據(jù)所測量薄膜的物理性質(zhì)等效為一種長度和寬度與所測量的薄膜一樣的大塊固體材料的薄膜,這時(shí)的平均表面稱為薄膜物性等價(jià)表面。 形狀膜厚是比較接近于直觀形式的膜厚, 通常以μm為單位; 質(zhì)量膜厚反映了薄膜中包含物質(zhì)為多少,通常 以 μg/cm#8217;為單位, 物性膜厚在實(shí)際使用上較有用, 而且比較容易測量。
由于實(shí)際表面并不平整,同時(shí)薄膜制作過程中又不可避免地要有各種缺陷、 雜質(zhì)和吸附分子等存在,所以不管用哪 一種方法來定義和測量膜厚,都是一個(gè)平均值,而且足包括了雜質(zhì)、缺陷以及吸附分子在內(nèi)的薄膜的厚度值。
真空鍍膜機(jī)鍍膜是在真空腔體下進(jìn)行鍍膜的,對于測量膜厚度來說,是需要這方面專業(yè)的測量儀才能測出厚度大小。