真空鍍膜機(jī)主要指一類需要在較高真空度下進(jìn)行的鍍膜,具體包括很多種類,包括真空離子蒸發(fā),磁控濺射,MBE分子束外延,PLD激光濺射沉積等很多種。今天,昆山浦元真空技術(shù)工程有限公司為您介紹以下幾種鍍膜機(jī)工作原理:
一、空心陰極離子鍍?cè)?/p>
在本底真空為高真空的條件下,由陰極中通入氬器氣(1-10-2)在陰極與輔助陽極之間加上引弧電壓,使氬氣發(fā)生輝光放電,在空心陰極內(nèi)產(chǎn)生低壓等離子體放電,陰極溫度升高到2300-2400K時(shí),由冷陰極放電轉(zhuǎn)為熱陰極放電,開始熱電子發(fā)射,放電轉(zhuǎn)為穩(wěn)定狀態(tài)。通入反應(yīng)氣體,可以制化合膜。
二、測(cè)控濺射工作原理
先將真空室預(yù)抽至10-3Pa,然后通入氣體(如氬氣),氣壓為1-10 Pa時(shí),給靶加負(fù)電壓,產(chǎn)生輝光放電,電子在電場(chǎng)正作用下加速飛向基片時(shí),與氬原子碰撞,電離出Ar和另一個(gè)電子;轟擊靶材,由二次電子電離的 越來越多,不斷轟擊靶材;磁場(chǎng)改變電子的運(yùn)動(dòng)方向,以電磁場(chǎng)束縛和延長(zhǎng)電子的運(yùn)動(dòng)軌跡,從而提高電子對(duì)工作氣體的電離幾率。
三、多弧離子鍍工作原理
其工作原理為冷陰極自持弧光放電,其物理基礎(chǔ)為場(chǎng)致發(fā)射。被鍍材料接陰極,真空室接陽極,真空室抽為高真空時(shí),引發(fā)電極啟動(dòng)器,接觸拉開,此時(shí),陰極與陽極之間形成穩(wěn)定的電弧放電,陰極表面布滿飛速游動(dòng)的陰極斑,部分離子對(duì)陰極斑的轟擊使其變成點(diǎn)蒸發(fā)源,以若干個(gè)電弧蒸發(fā)源為核心的為多弧離子鍍。
四、電阻蒸發(fā)式鍍膜機(jī)
膜材即要鍍的材料放于蒸發(fā)舟中,置于真空室中,抽到一定真空時(shí),通過電阻加熱膜材,使其蒸發(fā),當(dāng)蒸發(fā)分子的平均自由程大于蒸發(fā)源至基片的線性尺寸時(shí),原子和分子從蒸發(fā)源中逸出后,到達(dá)基片形成膜。為了使膜厚均勻,可以利用電機(jī)帶動(dòng)基片旋轉(zhuǎn),并用膜厚儀控制膜厚,制出優(yōu)質(zhì)膜。
五、E型槍工作原理
陰極燈絲加熱后發(fā)射具有0.3 EV初動(dòng)能的熱電子,這些熱電子在燈絲陰極與陽極之間的電場(chǎng)作用下加速并會(huì)聚成束狀。在電磁線圈的磁場(chǎng)中,電子束沿E x B的方向偏轉(zhuǎn),通過陰極時(shí),電子的能量提高到10KV,通過陽極電子偏轉(zhuǎn)270度角而入射坩堝內(nèi)的膜材表面上,轟擊膜材使其蒸發(fā)。
六、PCVD鍍膜工作原理
將被鍍件放在低壓輝光放電的陰極上,通入適當(dāng)氣體,在一定溫度下,利用化學(xué)反應(yīng)和離子轟擊相結(jié)合的過程,在工件表面獲得涂層。
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