隨著科技的發(fā)展，真空鍍膜工藝技術(shù)已經(jīng)在：太陽能集熱管、太陽能電池、磁帶、光盤、半導(dǎo)體器件、光學(xué)器件、光電顯示器件、玻璃、工模具和切削刀具的超硬涂層、汽輪機(jī)葉片的抗熱涂層、五金制品、手表、手機(jī)和眼鏡的裝飾、塑料制品金屬化、包裝用塑料薄膜等多個(gè)領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。

真空鍍膜設(shè)備有多種規(guī)格的單室機(jī)和多室連續(xù)機(jī)。工藝方法上可分為：真空蒸鍍、離子鍍、濺射鍍、束流沉積鍍以及分子束外延等。真空鍍膜設(shè)備的運(yùn)行性能直接影響生產(chǎn)工藝、產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)，為了使設(shè)備的運(yùn)行性能正常，必須建立和完善設(shè)備的；維護(hù)與維修制度、維護(hù)內(nèi)容、維修標(biāo)準(zhǔn)等。

一、維護(hù)與維修制度，為了使真空鍍膜設(shè)備在維護(hù)、維修及生產(chǎn)過程中出現(xiàn)問題能得到及時(shí)收集、傳遞、分析和處理. 而制定的管理制度。

1.有完善的制度,如設(shè)備的使用操作規(guī)程。維修人員在維修時(shí)應(yīng)掛放“正在維修”牌，并切斷電源以防他人使用機(jī)器設(shè)備等.

2.在工廠生產(chǎn)管理中,設(shè)備的維護(hù)與維修是重要的一方面。應(yīng)該有專職的、能力強(qiáng)的維修人員負(fù)責(zé)。

二、設(shè)備的維護(hù)，維護(hù)可分為：日常維護(hù)和定期維護(hù)。

1.日常維護(hù)就是在當(dāng)天生產(chǎn)中發(fā)現(xiàn)設(shè)備有不良跡象，就馬上解決。發(fā)現(xiàn)機(jī)械泵的油少了就要添加，不要認(rèn)為這油是定期更換的，等到了時(shí)間在維護(hù)，可能泵的轉(zhuǎn)子就會(huì)磨損嚴(yán)重了。再比如工件轉(zhuǎn)架的軸承有些卡，就要更換軸承，而等到它徹底的壞了再換，問題可就大了，可能引起轉(zhuǎn)架電機(jī)燒毀等。

2.定期維護(hù)，有人會(huì)問有了日常維護(hù)還有必要定期維護(hù)嗎？其實(shí)每一種設(shè)備都有自己使用壽命，比如擴(kuò)散泵用的硅油使用壽命為2年左右，我就規(guī)定1年半就把它換掉，這樣做是不是浪費(fèi)，我覺的不浪費(fèi)，從設(shè)備服務(wù)于生產(chǎn)來說是值得的，老板最不希望看到的是機(jī)器在生產(chǎn)階段出現(xiàn)問題。只要你把日常維護(hù)和定期維護(hù)做好了，在延長(zhǎng)設(shè)備壽命的同時(shí)，生產(chǎn)過程中出現(xiàn)故障的幾率也大大降低，生產(chǎn)效率也提高了。

三、設(shè)備維修：說到維修很多人都頭疼的是真空部分的漏氣，真空部分出了問題比較麻煩，再加上很多公司沒有檢漏儀，這就要分階段來找。真空抽不上去原因可能有以下幾點(diǎn)：

1.也許是漏率偏高就是我們常說的有漏氣；

2.也許是真空機(jī)組的抽氣能力不夠了，油被污染或氧化了；

3.也許是真空室內(nèi)太臟放氣。

或者是這幾種可能都有。出現(xiàn)問題，首先是要判斷，是不是拆裝過東西？會(huì)不會(huì)漏水？閥門打開了嗎？根據(jù)現(xiàn)象判斷原因，然后再去根據(jù)判斷找問題，可能會(huì)收到事半功倍的效果。有次我們清洗弧蒸發(fā)源，清洗完裝上一試抽真空比以前慢了，就懷疑是弧蒸發(fā)源漏氣，后來經(jīng)過檢查是弧蒸發(fā)源的一個(gè)密封圈本來是要更換的，在裝配時(shí)認(rèn)為還可以就沒有更換，結(jié)果就造成了漏氣。