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磁控濺射真空鍍膜機(jī)設(shè)備用途和控制系統(tǒng)特點(diǎn)

作者: 來源: 日期:2019-12-24 9:01:24 人氣:11315

       跟鍍膜行業(yè)有接觸的工作人員,幾乎人人都知道磁控濺射技術(shù),它在現(xiàn)今市場(chǎng)應(yīng)用非常廣泛,各行各業(yè)鍍膜層都大量投入使用,獲得眾多商家和客戶的認(rèn)可。今天浦元真空小編為大家詳細(xì)介紹一下磁控濺射真空鍍膜機(jī)生產(chǎn)方面的相關(guān)知識(shí)。專業(yè)磁控濺射真空鍍膜機(jī)生產(chǎn)實(shí)現(xiàn)蒸鍍、封裝、測(cè)試等工藝全封閉制作,使整個(gè)薄膜生長和器件制備過程高度集成在一個(gè)完整的可控環(huán)境氛圍的系統(tǒng)中,消除有機(jī)大面積電路制備過程中大氣環(huán)境中不穩(wěn)定因素影響,保障了高性能、大面積有機(jī)光電器件和電路的制備。



       專業(yè)磁控濺射真空鍍膜機(jī)設(shè)備用途:主要用于太陽能電池鈣鈦礦、OLED和PLED、半導(dǎo)體制備等實(shí)驗(yàn)研究與應(yīng)用。磁控濺射包括很多種類。各有不同工作原理和應(yīng)用對(duì)象。專業(yè)磁控濺射生產(chǎn)但有一共同點(diǎn):利用磁場(chǎng)與電場(chǎng)交互作用,使電子在靶表面附近成螺旋狀運(yùn)行,從而增大電子撞擊氬氣產(chǎn)生離子的概率。所產(chǎn)生的離子在電場(chǎng)作用下撞向靶面從而濺射出靶材。靶源分平衡和非平衡式,平衡式靶源鍍膜均勻,非平衡式靶源鍍膜膜層和基體結(jié)合力強(qiáng)。平衡靶源多用于半導(dǎo)體光學(xué)膜,非平衡多用于磨損裝飾膜。磁控陰極按照磁場(chǎng)位形分布不同,大致可分為平衡態(tài)和非平衡磁控陰極。鞍山專業(yè)磁控濺射生產(chǎn)平衡態(tài)磁控陰極內(nèi)外磁鋼的磁通量大致相等,兩極磁力線閉合于靶面,很好地將電子/等離子體約束在靶面附近,增加碰撞幾率,提高了離化效率,因而在較低的工作氣壓和電壓下就能起輝并維持輝光放電。

       控制系統(tǒng)特點(diǎn):
       1)采用具有超溫偏差保護(hù)、專業(yè)磁控濺射生產(chǎn)數(shù)字顯示的微電腦P.I.D溫度控制器,帶有定時(shí)功能,控溫精確可靠。
       2)超溫保護(hù)、定時(shí)停機(jī)、來電恢復(fù)、溫度修正等功能。
       3)具有斷電恢復(fù)功能,在外電源突然失電又重新來電后,專業(yè)磁控濺射真空鍍膜機(jī)可自動(dòng)按原設(shè)定程序恢復(fù)運(yùn)行。安全裝置:
       A)慮周全的安全保護(hù)設(shè)計(jì),實(shí)現(xiàn)對(duì)人員、樣品和設(shè)備的三重安全保護(hù)。
       B)全功能:傳感器故障報(bào)警、超溫報(bào)警、獨(dú)立式過升防止器、獨(dú)立式超溫保護(hù)器、過電流跳閘保護(hù)等。
        眾所周知,磁控濺射生產(chǎn)真空鍍膜機(jī)是用于表面處理PVD膜層的專用設(shè)備,如磁控濺射真空鍍膜機(jī)、離子真空鍍膜機(jī)、蒸發(fā)離子鍍膜機(jī)等。磁控濺射真空鍍膜機(jī)是可在低溫狀態(tài)下進(jìn)行非金屬材料進(jìn)行鍍膜,然而真空蒸發(fā)鍍膜機(jī)和真空多弧離子鍍膜機(jī)屬于高溫鍍膜,適用于金屬材料鍍膜。因此每種鍍膜機(jī)都有各自特點(diǎn)和使用范圍限制。
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