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真空鍍膜機各部件以及原理分析

作者: 來源: 日期:2020-03-16 9:52:53 人氣:30728
真空鍍膜機的真空腔體----根據(jù)加工產(chǎn)品要求的差異,真空腔體大小也不一樣,目前應(yīng)用比較多的有直徑0.9M、1.3M、1.5M、1.8M等。腔體由不銹鋼材料制作,要求不生銹、堅實,真空腔體各部分有鏈接閥,用來鏈接各抽氣泵浦。

真空鍍膜機的輔助抽氣系統(tǒng):排氣系統(tǒng)為鍍膜真空系統(tǒng)的重要組成部分,機械泵、增壓泵/羅茨泵、擴散泵三大部分組成。這個排氣系統(tǒng)為:擴散泵+機械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold。排氣流程:機械泵先將真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空狀態(tài),為擴散泵后續(xù)抽真空提供前提,之后當擴散泵抽真空的時候,機械泵又配合油擴散泵組成串聯(lián),以這樣的方式完成抽氣動作。

真空鍍膜機的機械原理以及其分類:
機械泵:也叫前級泵,機械泵是應(yīng)用很廣的一種低真空泵,它是用油來保持密封效果并依靠機械的方法不斷的改變泵內(nèi)吸氣空腔的體積,使被抽容器內(nèi)氣體體積不斷膨脹從而獲得真空。
一.機械泵的分類:機械泵有很多種,常用的有滑閥式(主要用于大型設(shè)備),活塞往復式,定片式和旋片式(此目前運用很廣)
二.機械泵是從大氣開始工作的,它的主要參數(shù)有極限真空、抽氣速率、此為設(shè)計和選用機械泵的重要依據(jù),單級泵可以將容器從大氣抽到1.0*10-1PA的極限真空,雙級泵可以將容器從大氣抽到6.7*10-2PA,甚至更高。抽氣速率是指旋片泵,按額定轉(zhuǎn)速運轉(zhuǎn)時,單位時間內(nèi)所能排出氣體的體積,可用公式計算:Sth=2nVs=2nfsL fs表示吸氣結(jié)束時空腔截面積,L表示空腔長度,系數(shù)表示轉(zhuǎn)子每旋轉(zhuǎn)一周有兩次排氣過程,Vs表示當轉(zhuǎn)子處于水平位置的時候,吸氣結(jié)束,此時空腔內(nèi)的體積較大,轉(zhuǎn)數(shù)為n。機械泵排氣的效果還與電機的轉(zhuǎn)數(shù)以及皮帶的松緊度有關(guān),當電機的皮帶比較松,電機轉(zhuǎn)數(shù)很慢的時候,機械泵的排氣效果也會變差,所以要經(jīng)常保養(yǎng),點檢,機械泵的密封效果也需要經(jīng)常點檢,由過少,達不到密封效果,泵內(nèi)會漏氣,油過多,把吸氣孔堵塞,無法吸氣和排氣,一般在油位線下0.5厘米即可。
三.機械泵常常被用來抽除干燥的空氣,但不能抽除含氧量過高、有爆炸和腐蝕性的氣體,機械泵一般被用來抽除長久性的氣體,但是對水氣沒有好的效果,所以它不能抽除水氣。旋葉泵中起主要作用的部件是定子、轉(zhuǎn)子、彈片等,轉(zhuǎn)子在定子里面但與定子不同心軸,像兩個內(nèi)切圓,轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有兩片彈片,兩片彈片中間裝有彈簧,保證了彈片緊緊貼在定子的內(nèi)壁。 
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