真空鍍膜機(jī)是目前制作真空條件應(yīng)用最為廣泛的真空設(shè)備,一般用真空室、真空機(jī)組、電氣控制柜三大工作原理。
真空主題--真空腔根據(jù)加工產(chǎn)品要求的各異,真空腔的大小也不一樣,目前應(yīng)用最多的有直徑0.9M、1.3M,1.5M、1.8M等,腔體由不銹鋼材料制作,要求不生銹、堅(jiān)實(shí)等,真空腔各部分有鏈接閥,用來(lái)鏈接各抽氣泵浦。
輔助抽氣系統(tǒng):排氣系統(tǒng)為鍍膜機(jī)真空系統(tǒng)的重要部分,主要有由機(jī)械泵、增壓泵(主要介紹羅茨泵)、油擴(kuò)散泵三大部分組成,此排氣系統(tǒng)采用“擴(kuò)散泵+機(jī)械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold組成”。
排氣流程為:機(jī)械泵先將真空腔抽至2.0*10-2pa左右的低真空狀態(tài),為擴(kuò)散泵后續(xù)抽真空提供前提,之后當(dāng)擴(kuò)散泵抽真空的時(shí)候,機(jī)械泵又配合油擴(kuò)散泵組成串聯(lián),已這樣的方式完成抽氣動(dòng)作。
機(jī)械泵:也叫前級(jí)泵,機(jī)械泵是應(yīng)用最廣泛的一種低真空泵,它是用油來(lái)保持密封效果并依靠機(jī)械的方法不斷的改變泵內(nèi)吸氣空腔的體積,使被抽容器內(nèi)氣體的體積不斷膨脹從而獲得真空。