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良好的薄膜須具備那些特性?影響的因素有哪些?

作者: 來源: 日期:2020-07-14 13:09:36 人氣:1890

通俗的定義為在正常狀況下,其應(yīng)用功能不會(huì)失效。

想要達(dá)到這個(gè)目的,一般而言這層薄膜必須具有堅(jiān)牢的附著力、很低的內(nèi)應(yīng)力、針孔密度很少、夠強(qiáng)的機(jī)械性能、均勻的膜厚、以及足夠的抗化學(xué)侵蝕性。

薄膜的特性主要受到沉積過程、成膜條件、接口層的形成和基材的影響,隨后的熱處理亦扮演重要角色。 


沉積的薄膜有內(nèi)應(yīng)力的存在,其來源為何? 

薄膜和基材之間的晶格失配 

薄膜和基材之間的熱膨脹系數(shù)差異 

晶界之間的互擠

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