低真空的獲得
獲得低真空常采用機(jī)械泵,機(jī)械泵是運(yùn)用機(jī)械方法不斷地改變泵內(nèi)吸氣空腔的體積,使被抽容器內(nèi)氣體的體積不斷膨脹,從而獲得真空的裝置。
它可以直接在大氣壓下開始工作,極限真空度一般為1.33-1.33x10-2pa, 抽氣速率與轉(zhuǎn)速及空腔體積V的大小有關(guān),一般在每秒幾升到每秒幾十升之間。
高真空的獲得
目前,廣泛使用的獲得高真空的泵就是擴(kuò)散泵。擴(kuò)散泵是利用氣體擴(kuò)散現(xiàn)象來(lái)抽氣的,它不能直接在大氣壓下工作,而需要一定的預(yù)備真空度(1.33-0.133Pa)。
油擴(kuò)散泵的極限真空度主要取決于油蒸汽壓和氣體分子的反擴(kuò)散,一般能達(dá)到1.33x10-5---1.33x10-7pa。 抽氣速率與結(jié)構(gòu)相關(guān),每秒幾升--幾百升不等。