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PVD真空離子鍍膜設(shè)備涂層加工常用靶材

作者: 來源: 日期:2021-11-20 13:32:28 人氣:1373
彩色系膜層和常規(guī)色膜層區(qū)別就是C值和H值,所以可以說,黑色也是彩色系膜層。

鋯+氮?dú)猓狐S綠調(diào)金黃色
鋯+甲烷:深淺黑色
鋯+氧氣:白色、透明膜
鋯+氮?dú)猓淄椋航鹕?、仿玫瑰?br />
鉻+甲烷:深淺黑色
鉻+氮?dú)猓簻\黑色
鉻+氮?dú)猓淄椋恒y灰色
鉻+氧氣:輕黃色、紫色、綠色

SUS+氧氣:紫色
SUS+氮?dú)猓核{(lán)色
SUS+甲烷:亮黑色
SUS+甲烷+氮?dú)猓核{(lán)黑色

硅+氮?dú)猓汉谏?br />硅+氧氣:混濁白、透明膜
硅+甲烷:黃色、綠色、藍(lán)色、黑色(靶材純度高于99%僅能調(diào)黑色)

鈦+氧氣:光學(xué)膜七彩截色,不多介紹都懂。
鈦+甲烷:深淺黑色( DLC制備不能達(dá)標(biāo))
鈦+氮?dú)猓悍陆鹕?、黃銅色、紫色、紅色
鈦+氮?dú)猓淄椋悍旅倒褰?、黑綠色、復(fù)古黃、棕色、紫色

鎢+氮?dú)猓鹤攸S色
鎢+甲烷:深淺黑色
鎢+氧氣:紫色,鮮黃色,棕色,藍(lán)色

以上僅裝飾薄膜常用材料及其常用氣體,通常甲烷和乙炔都可互替,但涉及部分顏色甲烷效果更好。
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