磁控濺射膜常見故障的排除
膜層灰暗及發(fā)黑
(1)真空度低于 0.67Pa。應(yīng)將真空度提高到 0.13-0.4Pa。
(2)氬氣純度低于 99.9%。應(yīng)換用純度為 99.99%的氬氣。
(3)充氣系統(tǒng)漏氣。應(yīng)檢查充氣系統(tǒng),排除漏氣現(xiàn)象。
(4)底漆未充分固化。應(yīng)適當(dāng)延長底漆的固化時間。
(5)鍍件放氣量太大。應(yīng)進(jìn)行干燥和封孔處理 膜層表面光澤暗淡
(1)底漆固化不良或變質(zhì)。應(yīng)適當(dāng)延長底漆的固化時間或更換底漆。
(2)濺射時間太長。應(yīng)適當(dāng)縮短。
(3)濺射成膜速度太快。應(yīng)適當(dāng)降低濺射電流或電壓
膜層色澤不均
(1)底漆噴涂得不均勻。應(yīng)改進(jìn)底漆的施涂方法。
(2)膜層太薄。應(yīng)適當(dāng)提高濺射速度或延長濺射時間。
(3)夾具設(shè)計不合理。應(yīng)改進(jìn)夾具設(shè)計。
(4)鍍件的幾何形狀太復(fù)雜。應(yīng)適當(dāng)提高鍍件的旋轉(zhuǎn)速度
膜層發(fā)皺、龜裂
(1)底漆噴涂得太厚。應(yīng)控制在 7—lOtan 厚度范圍內(nèi)。
(2)涂料的粘度太高。應(yīng)適當(dāng)降低。
(3)蒸發(fā)速度太快。應(yīng)適當(dāng)減慢。
(4)膜層太厚。應(yīng)適當(dāng)縮短濺射時間。
(5)鍍件溫度太高。應(yīng)適當(dāng)縮短對鍍件的加溫時間
膜層表面有水跡、指紋及灰粒
(1)鍍件清洗后未充分干燥。應(yīng)加強(qiáng)鍍前處理。
(2)鍍件表面濺上水珠或唾液。應(yīng)加強(qiáng)文明生產(chǎn),操作者應(yīng)帶口罩。
(3)涂底漆后手接觸過鍍件,表面留下指紋。應(yīng)嚴(yán)禁用手接觸鍍件表面。
(4)涂料中有顆粒物。應(yīng)過濾涂料或更換涂料。
(5)靜電除塵失效或噴涂和固化環(huán)境中有顆粒灰塵。應(yīng)更換除塵器,并保持工作環(huán)境的清潔
膜層附著力不良
(1)鍍件除油脫脂不徹底。應(yīng)加強(qiáng)鍍前處理。
(2)真空室內(nèi)不清潔。應(yīng)清洗真空室。值得注意的是,在裝靶和拆靶的過程中,嚴(yán)禁用手 或不干凈的物體與磁控源接觸,以保證磁控源具有較高的清潔度,這是提高膜層結(jié)合力的 要措施之一。
(3)夾具不清潔。應(yīng)清洗夾具。
(4)底涂料選用不當(dāng)。應(yīng)更換涂料。
(5)濺射工藝條件控制不當(dāng)。應(yīng)改進(jìn)濺射工藝條件