真空鍍膜機主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜，具體包括很多種類，包括真空離子蒸發(fā)，磁控濺射，MBE分子束外延，PLD激光濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。真空鍍膜機是目前制作真空條件應用最為廣泛的設備，對其操作程序的了解是至關重要的環(huán)節(jié)，在真空鍍膜機的具體操作過程中建議參照以下標注說明：

        一、 檢查真空鍍膜機各操作控制開關是否在"關"位置。

        二、打開總電源開關，設備送電。

        三、低壓閥拉出。開充氣閥，聽不到氣流聲后，啟動升鐘罩閥，鐘罩升起。

        四、安裝固定鎢螺旋加熱子。把PVDF薄膜和鋁蓋板固定在轉動圓盤上。把鋁絲穿放在螺旋加熱子內。清理鐘罩內各部位，保證無任何雜質污物。

        五、落下鐘罩。

        六、啟動抽真空機械泵。

        七、開復合真空計電源(復合真空計型號:Fzh-1A)。

               1）左旋鈕"1"順時針旋轉至指向2區(qū)段的加熱位置。

               2）低真空表"2"內指針順時針移動，當指針移動至110mA時，左旋鈕"1"旋轉至指向2區(qū)段測量位置。

        八、當?shù)驼婵毡?quot;2"內指針再次順時針移動至6.7Pa時，低壓閥推入。這時左旋鈕"1"旋轉至指向1區(qū)段測量位置。

        九、 真空鍍膜機開通冷卻水，啟動擴散泵，加熱40min。

        十、低壓閥拉出。重復一次⑦動作程序:左下旋鈕"1"轉至指向2區(qū)段測量位置。低真空表"2"內指針順時針移動，當指針移動至6.7Pa時，開高壓閥(閥桿順時針旋轉)。

        十一、等低真空表"2"內指針右移動至0.1Pa時，開規(guī)管燈絲開關。

                1）發(fā)射、零點測量鈕"9"旋轉至指向發(fā)射位置。

                2）左下旋鈕"1"旋轉至指向1區(qū)段測量位置。

        十二、 旋轉發(fā)射調節(jié)鈕"4"，使高壓真空表"5"內指針指向5。

        十三、 發(fā)射、零點、測量旋鈕"9"旋轉至指向零點位置。

        十四、旋轉零點調節(jié)鈕"10"，讓高壓真空表"5"內指針指向0位置。

        十五、 發(fā)射、零點、測量旋鈕"9"旋轉至指向測量位置。

        十六、旋轉標準調節(jié)鈕"3"，讓高壓真空表"5"內指針指向10。

        十七、旋轉"倍加器"開關鈕"8"至指向10-12，當高壓真空表"5"內指針逆時針左移超過1時，再把"倍加器"開關旋鈕"8"旋轉至指向10-3。

        十八、當高壓真空表"5"內指針逆時針移動超過6.7Pa時，開工件旋轉鈕開關，鐘罩內被鍍件PVDF膜轉動。

        十九、開蒸發(fā)鈕開關。把電流分插塞插入蒸發(fā)電極分配孔內(設有1、 2、 3、 4孔，可插入任意一孔)。

        二十、 右手旋轉右側調壓器手輪，慢慢旋轉升壓。

                  1）從視鏡窗口觀察鎢螺旋加熱子的加熱溫度顏色變化情況。

                  2）當鎢螺旋加熱子顏色變成黃橙色，鋁絲開始熔化時，左手操作擋板鈕，移開鎢螺旋上方擋板。

                  3）鋁絲全部熔化蒸發(fā)，擋板回原位。

                  4）右手旋轉調壓器手輪回零位。第一次蒸鍍工作完成。

        二十一、 如果再想蒸鍍一次(為了增加電極金屬層厚度):把電流分插塞撥出插入另一個電極分配孔。重復?操作動作。

        二十二、 關閉規(guī)管燈絲開關。關閉高壓閥(逆時針轉手柄)。關閉工件旋轉。關閉蒸發(fā)。旋轉機械泵鈕至指向擴散泵位置。

        二十三、 低壓閥拉出。鐘罩充氣。充氣一段時間，當沒有氣.聲時，升鐘罩。

        二十四、鎢螺旋加熱子內加鋁絲。PVDF薄膜調換另一面向下 (原下面已鍍一層鋁膜面向上)。緊固在轉動圓盤上。

        二十五、 落鐘罩。開機械泵。

                    1） 左下旋鈕"1"旋轉至指向2區(qū)段測量位置 。

                    2）當?shù)蛪赫婵毡?quot;2"內指針順時針移動到6.7Pa時，低壓閥推入。

                    3） 左下旋鈕"1"旋轉至指向1區(qū)段測量位置。

                    4）當?shù)蛪赫婵毡?quot;2"內指針順時針移動到6.7Pa時，開高壓閥。旋鈕"1"旋轉至指向2區(qū)段測量位置。

                    5）當?shù)蛪赫婵毡?quot;2"內指針順時針移動到指向0.1Pa時，開規(guī)管燈絲。

                    6）由?開始重復操作至? 。

        二十六、 正常生產中，如遇到突然停電時，要立即切斷高真空測量，關閉規(guī)管燈絲，高壓閥、低壓閥拉出。來電后，先讓機械泵啟動工作3~5min后，再轉入正常生產。