濺射靶材: 濺射靶材按形狀分類:矩形平面靶材、圓形平面靶材、圓柱靶材
濺射靶材按成分分類:單質(zhì)金屬靶材、合金靶材、陶瓷靶材
平面靶材利用率比較低,只有30%左右,沿著環(huán)形跑道刻蝕。
靶材冷卻與靶背板
1. 靶功率密度與靶材冷卻:靶功率越大,濺射速度越大;靶允許的功率與靶材的性質(zhì)及冷卻有關(guān);靶材采用直接水冷,允許的靶功率高。
2. 靶背板 target backplane
使用場合:ITO,SiO2,陶瓷等脆性靶材及燒結(jié)靶材Sn(錫), In(銦)等軟金屬靶;靶材太薄、靶材太貴
材質(zhì)要求:
導(dǎo)熱性好---常用無氧銅,無氧銅的導(dǎo)熱性比紫銅好;強(qiáng)度足夠---太薄,容易變形,不易真空密封。
結(jié)構(gòu):
空心或者實(shí)心結(jié)構(gòu)---磁鋼不泡或泡在冷水中;厚度適當(dāng)---太厚,消耗部分磁強(qiáng);太薄,容易變形。